Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем (Родионов Юрий Анатольевич) ; Лань, 2022
от 1981 р. до 2089 р.
Автор(ы): Родионов Юрий Анатольевич;
Издатель: Лань
ISBN: 978-5-8114-5788-5
ID: SKU92868
Добавлено: 15.08.2021
Сравнить цены
Цена от 1981 р. до 2089 р. в 4 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Лабиринт 5/5 | 1981 р. 2830 р. | |
Буквоед 5/5 | 2089 р. Минимальная сумма заказа 100 рублей | |
Book24 5/5 | 2089 р. | |
Яндекс.Маркет 5/5 | 8356 р. | |
Читай-город 5/5 | ||
МАЙШОП 5/5 | Один из первых книжных интернет-магазинов, работающий с 2002 года | |
Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".
2-е издание, стереотипное.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".
2-е издание, стереотипное.
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
О книге
Автор(ы) | Родионов Юрий Анатольевич |
Серия | Радиоэлектроника и приборостроение |
Раздел | Радиоэлектроника |
Издатель | Лань |
ISBN | 978-5-507-46956-7 |
Год издания | 2022 |
Количество страниц | 220 |
Формат | 171x241мм |
Вес | 0.41кг |
Переплет | Твердый переплёт |
Возрастные ограничения | 12 |
Кол-во страниц | 220 |
3 ms.
Книги с похожим названием
Книги где автор: Родионов Юрий Анатольевич
Радиоэлектроника. Связь - издательство "Лань"
Категория 1584 р. - 2377 р.
Электротехника. Электроника - издательство "Лань" »
1 ms.
Радиоэлектроника. Связь
Категория 1584 р. - 2377 р.