Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов (Ю. А. Родионов) ; Лань, 2023
от 848 р. до 1718 р.
Автор(ы): Ю. А. Родионов;
Издатель: Издательство ЛАНЬ
ISBN: 978-5-507-46956-7
ID: SKU1892796
Добавлено: 30.12.2023
Сравнить цены
Цена от 848 р. до 1718 р. в 3 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
ЛитРес 5/5 | 848 р. 1060 р. электронная книга | скачать фрагмент | |
Яндекс.Маркет 5/5 | 3502 р. | наличие уточняйте 05.06.2024 |
МАЙШОП 5/5 | 1718 р. 2642 р. | |
Лабиринт 5/5 | ||
Читай-город 5/5 | ||
Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоев и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
Содержание
1. Основные компоненты химических технологий
2. Химическая очистка поверхности
3. Химическое травление
4. Химическое нанесение пленок
Литература
2. Химическая очистка поверхности
3. Химическое травление
4. Химическое нанесение пленок
Литература
О книге
ISBN | 978-5-507-46956-7 |
Автор(ы) | Ю. А. Родионов |
Год издания | 2023 |
Размеры | 70x100 1/16 |
Обложка | твердый переплёт |
Издатель | Лань |
Серия | Радиоэлектроника и приборостроение |
Язык издания | rus |
Кол-во страниц | 220 |
Химия - издательство "Издательство ЛАНЬ"
Категория 678 р. - 1017 р.
общая химия - издательство "Издательство ЛАНЬ" »
Химия
Категория 678 р. - 1017 р.