Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 и 2 (Цветков Юрий Борисович) ; МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2019
от 115 р. до 581 р.
Автор(ы): Цветков Ю.;
Издатель: МГТУ
ISBN: 978-5-7038-4864-7
ID: SKU344784
Добавлено: 17.08.2021
Сравнить цены
Цена от 115 р. до 581 р. в 6 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Book24 5/5 | 1149 р. | наличие уточняйте 30.05.2024 |
Буквоед 5/5 | 1149 р. Минимальная сумма заказа 100 рублей | наличие уточняйте 31.05.2024 |
Лабиринт 5/5 | 581 р. 830 р. | |
Яндекс.Маркет 5/5 | 1203 р. | наличие уточняйте 30.05.2024 |
МАЙШОП 5/5 | 504 р. 775 р. | |
ЛитРес 5/5 | 115 р. 144 р. электронная книга | скачать фрагмент | |
Читай-город 5/5 | ||
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
О книге
Издатель | МГТУ им. Н.Э. Баумана |
Год издания | 2019 |
Страниц | 122 |
ISBN | 9785703848647 |
Размеры | 16,50 см × 23,50 см × 0,70 см |
Формат | 70х100/16 |
Автор(ы) | Цветков Юрий Борисович |
Тематика | Автоматика. Телемеханика |
Тираж | 100 |
Возрастные ограничения | 12 |
Кол-во страниц | 122 |
Переплет | 70х100/16 |
Обложка | мягкая обложка |
Книги где автор: Цветков Юрий Борисович
Технические науки - издательство "МГТУ"
Категория 92 р. - 138 р.
Автоматика. Радиоэлектроника. Связь - издательство "МГТУ" »
Технические науки
Категория 92 р. - 138 р.