Толстые плёнки радиоэлектроники. Физико-технические основы, гетероструктурные среды (Подвигалкин Виталий Яковлевич) ; Лань, 2017

ПРЕДИСЛОВИЕ
Глава первая
ВВЕДЕНИЕ
1.1. Возможности толстых плёнок
микроэлектроники в создании элементной базы
радиоэлектронных систем
1.1.1.Толстые плёнки микроэлектроники в РЭА
1.1.2. Основные характеристики толстоплёночной
технологии
1.1.3. Краткий анализ технологического процесса
и свойства применяемых материалов
1.1.4. Тенденция развития толстых плёнок
для радиоэлектроники
Глава вторая
ПОДБОР ПОЛИМЕРНЫХ КОМПОЗИЦИЙ
ДЛЯ СОЗДАНИЯ КОМПОНЕНТНО-ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ
ИС РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ НА ОСНОВЕ
ТОЛСТЫХ ПЛЁНОК
2.1. Технологические особенности жидкофазного
нанесения металлополимерных толстоплёночных
покрытий на диэлектрические
и полупроводниковые подложки-носители
2.1.1. Механика нанесения покрытий в виде
толстых плёнок на подстилающую поверхность
2.2. Нанокомпозиты на основе d-металлов
в полимерной матрице
2.2.1. Электропроводящие нанокомпозитные
среды
2.3. Нанокомпозиты из анодного оксида алюминия
2.4. Нанокомпозиты из стеклофазы,
модифицированной синтезированными алмазами
2.5. Просветляющие наноструктурные оптические
среды для солнечных элементов
Глава третья
ОСНОВЫ ТЕОРИИ АНАЛИТИЧЕСКОГО
МОДЕЛИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ СРЕД
ДЛЯ ТОЛСТЫХ ПЛЁНОК
3.1. Вступление
3.2. Введение
3.3. Основы теории аналитического метода
малого возмущающего тела
3.4. Определение характеристик
квазистатического поля в полубесконечном
цилиндре прямоугольного сечения - аналоге R-,
С-элементов микросхем
Глава четвёртая
ФОРМИРОВАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ТОЛСТЫХ
ПЛЁНОК С НАНОМЕРНЫМИ СРЕДАМИ
4.1. Получение полимерных нанокомпозитных
толстых плёнок
4.1.1. Физические эффекты в процессах синтеза и
формирования нанокомпозитных сред толстых
плёнок
4.1.2. Метод интегральное™ физических эффектов
4.1.3. Метод порогового автоформования
4.1.4. Квантовые точки в толстых плёнках
с наномерными полимерными средами
4.2. Электрофизические свойства толстых плёнок
на основе полимерных нанокомпозитов
4.2.1. Термостабильность моделей толстых плёнок
на основе наномерных сред
4.3. Оптические свойства толстых плёнок на
основе наночастиц сульфида кадмия в матрице
полиэтилена высокого давления
4.3.1. Исследование оптических характеристик
композитных сред на основе наночастиц сульфида
кадмия, стабилизированных в матрице полиэтилена
высокого давления и серебряных наночастиц в
матрице полиметилметакрилата
4.4. Пористые толстые плёнки нанокомпозитов
4.5. Нанокомпозитные толстые плёнки на основе
стеклофазы, модифицированной синтезированными
алмазами
Глава пятая
ПАССИВНАЯ ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА
РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
5.1. Проводящие R- и С-элементы толстых плёнок
радиоэлектроники на основе гетероструктурных
сред
5.1.1. Проводящие толстые плёнки
с наномерными средами
5.1.2. Толстоплёночная элементная база
микросборок с двойными физическими функциями
5.2. Развитие толстоплёночной элементной базы
интегральных схем
5.3. Толстоплёночный резистор микросборок для
работы в расширенном интервале температур
Глава шестая
МИНИАТЮРИЗАЦИЯ УСТРОЙСТВ
РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ ВЫСШИХ ЧАСТОТ
С ПОМОЩЬЮ ТОЛСТЫХ ПЛЁНОК
6.1. Фундаментальный научно-технический предел
миниатюризации электровакуумных приборов СВЧ
6.2. Конструкторско-технологическое
вмешательство в решение проблемы
миниатюризации электровакуумных приборов
высших частот
6.2.1. Несущие компоненты микросхем
высших частот
6.2.2. Метод вертикально-сквозных
микропрофилей для миниатюризации устройств
радиоэлектроники высших частот
6.2.3. Межслойные переходы объёмных
интегральных вакуумных микросхем высших частот
6.3. Конструирование замедляющих систем
методом вертикально-сквозных микропрофилей
6.3.1. Планарные интегральные схемы
6.3.2. Объёмные интегральные схемы
6.3.3. Микроблок
6.4. Миниатюризация элементной базы финишных
устройств и систем бортовых радиолокационных
станций
Глава седьмая
ВЫСОКОЭФФЕКТИВНОЕ
КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ
ОБЕСПЕЧЕНИЕ
АККУМУЛИРОВАНИЯ СОЛНЕЧНОЙ ЭНЕРГИИ
7.1. Толстоплёночные нанокомпозитные покрытия
для электропреобразователей солнечной энергии
7.1.1. Комплекс технологических требований,
предъявляемых к просветляющим
нанокомпозитным толстоплёночным покрытиям
7.1.2. Высокоэффективные просветляющие
оптические нанопокрытия
7.1.3. Экспериментальные исследования
эффективности просветляющих оптических
покрытий
7.2. Метод глобулярной защиты от слияния
наночастиц на глобулах в полимерной матрице
перед нанесением просветляющего покрытия на
кремниевые подстилающие покрытия
7.3. Высокоэффективные кремниевые
фотоэлементы солнечных батарей
7.3.1. Компонентно-элементная база конструкции
перспективного фотоэлемента
солнечной батареи
7.3.2. Применение вертикально-сквозного
микропрофиля
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ
ПРИЛОЖЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА