Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие (Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович) ; Лаборатория знаний, 2018
Автор(ы): Галперин Вячеслав Александрович; Данилкин Евгений Владимирович; Мочалов Алексей Иванович;
Издатель: Просвещение/Бином
ISBN: 978-5-9963-0032-7
ID: SKU153533
Добавлено: 15.08.2021
Цены
Нет в наличии
В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах. Вы можете поискать его на других площадках ниже.
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Лабиринт 5/5 | ||
Читай-город 5/5 | ||
МАЙШОП 5/5 | Один из первых книжных интернет-магазинов, работающий с 2002 года | |
Описание
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования
.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.
.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
О книге
Серия | Нанотехнологии |
Издатель | Лаборатория знаний |
Год издания | 2018 |
Страниц | 283 |
Переплёт | твердый |
ISBN | 978-5-9963-0032-7 |
Размеры | 21,50 см × 14,50 см × 1,30 см |
Формат | 60х90/16 |
Автор(ы) | Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович |
Тематика | Энергетика |
Тираж | 770 |
Переплет | Твердый переплёт |
Возрастные ограничения | 12 |
Кол-во страниц | 283 |
Книги где авторы: Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Похожие товары
Электротехника. Электроника - издательство "Просвещение/Бином" »
Радиоэлектроника. Связь
Категория 399 р. - 598 р.