Технологии производства микродеталей (Маслов А.Р.) ; Техносфера, 2023

Глава 1. Микрообработка резанием
1.1. Особенности технологии микрообработки
резанием
1.2. Оборудование для микрообработки
резанием
1.2.1. Металлорежущие станки для
фрезерования
1.2.2. Металлорежущие станки для комплексной
обработки
1.2.3. Оборудование для наноразмерной
обработки
1.2.4. Технологическая оснастка
1.3. Сверление
1.3.1. Применение микросверл
1.3.2. Сверление глубоких микроотверстий
1.3.3. Сверление отверстий в подложках
микросхем
1.3.4. Сверление деталей точного
приборостроения
1.3.5. Обработка микроотверстий физико-
химическими способами
1.4. Обработка малоразмерных деталей на
токарных автоматах с ЧПУ
1.4.1. Унификация элементов инструментальных
комплектов для обработки малоразмерных деталей
1.4.2. Растачивание точных отверстий
1.4.3. Диагностирование процесса обработки
1.5. Фрезерование
1.5.1. Оптимизация геометрии микрофрез
1.5.2. Микрообработка деталей часов
1.5.3. Эффективность применения
алмазоподобных покрытий на микрофрезах
1.5.4. Диагностирование и контроль
микрофрезерования
1.6. Нанорезание оптики
1.6.1. Растачивание массивов микролинз
профильным алмазным резцом
1.6.2. Алмазное фрезерование деталей оптики
из хрупких материалов
1.6.3. Шлифование деталей приборов
1.7. Лазерная микрообработка
Глава 2. Аддитивные технологии
2.1. Оборудование для аддитивных
технологий
2.2. Производство порошков для аддитивных
технологий
2.3. Селективное лазерное спекание
керамических микродеталей
2.4. Стереолитография (технология SLA)
2.5. Искровое плазменное спекание порошков
2.6. Получение отливок микродеталей из
порошка
Глава 3. Наноструктурные покрытия
микроинструмента
3.1. Свойства и применение нанопокрытий
3.2. Методы нанесения нанопокрытий
3.2.1. Осаждение нанопокрытий
3.2.2. Ионно-плазменное нанесение
3.2.3. Молекулярно-лучевая эпитаксия
3.2.4. Импульсное лазерно-плазменное
напыление
3.2.5. Ионное легирование
3.3. Износостойкость твердосплавных фрез
с нанопокрытием
3.4. Нанесение нанопокрытий на керамический
инструмент
Глава 4. Инструментальное обеспечение
микрообработки
4.1. Инструментальные системы для
микрообработки резанием
4.1.1. Инструментальные системы для
микрофрезерования
4.1.2. Инструментальные системы токарных
автоматов с ЧПУ
4.1.3. Инструментальная система для
крупногабаритных изделий
4.2. Автоматизация инструментального
обеспечения микрообработки
4.2.1. Изготовление упаковки для
вспомогательного инструмента
4.2.2. Кодирование упаковки (тары) для
малоразмерного инструмента
Глава 5. Контроль размеров и параметров
поверхностей микродеталей
5.1. Контрольно-измерительные машины
5.2. Средства измерений параметров
наноразмерных объектов
5.2.1. Средства экспериментального
исследования наноструктур
5.2.1.1. Электронная микроскопия
5.2.1.2. Сканирующая зондовая микроскопия
5.2.1.3. Атомно-силовая микроскопия
5.2.1.4. Дифракционный анализ
5.2.1.5. Рентгеноструктурный анализ
5.2.1.6. Спектральные методы
5.2.2. Фракционный анализ нанопорошков
5.2.3. Измерение твердости и модуля упругости
в поверхностном слое
5.2.4. Меры длины в наноразмерном диапазоне
Заключение
Литература
Приложение. Список фирм, упомянутых в книге