Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение (Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович) ; Физматлит, 2013
от 385 р. до 948 р.
Автор(ы): Ефремов Александр Михайлович; Светцов Владимир Иванович;
Издатель: Физматлит
EAN: 978-5-9221-1406-6
ISBN: 978-5-9221-1406-6
ID: SKU71081
Добавлено: 15.08.2021
Сравнить цены
Цена от 385 р. до 948 р. в 4 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Лабиринт 5/5 | 444 р. 634 р. | |
ЛитРес 5/5 | 679 р. 849 р. электронная книга | скачать фрагмент | |
Яндекс.Маркет 5/5 | 948 р. | |
МАЙШОП 5/5 | 385 р. 592 р. | |
Читай-город 5/5 | ||
Описание
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами.
Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников.
Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников.
Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
Содержание
Введение
Глава 1. Методические вопросы исследования
параметров плазмы и гетерогенных плазменных
процессов
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности
образования и гибели активных частиц при разряде
в хлоре
Глава 3. Механизмы образования и гибели
активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2
и O2
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu,
GaAs, и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2,
и O2.
Глава 1. Методические вопросы исследования
параметров плазмы и гетерогенных плазменных
процессов
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности
образования и гибели активных частиц при разряде
в хлоре
Глава 3. Механизмы образования и гибели
активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2
и O2
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu,
GaAs, и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2,
и O2.
О книге
Автор(ы) | Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович |
Издатель | Физматлит |
Год издания | 2013 |
Серия | Фундаментальная и прикладная физика |
Форматы электронной версии | |
ISBN | 978-5-9221-1406-6 |
Размеры | 60x90/16 |
Язык издания | Русский |
Кол-во страниц | 216 |
Обложка | твердый переплёт |
Книги где авторы: Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович
Физические науки. Астрономия - издательство "Физматлит"
Категория 308 р. - 462 р.
Физические науки. Астрономия - издательство "Физматлит" »
Физические науки. Астрономия
Категория 308 р. - 462 р.