Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии (Л. А. Сейдман) ; Техносфера, 2009
319 р.
Автор(ы): Л. А. Сейдман;
Издатель: Техносфера
ISBN: 978-5-94836-222-9
ID: SKU472515
Добавлено: 23.08.2021
Цены
Цена от 319 р. до 319 р. в 1 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
ЛитРес 5/5 | 319 р. 399 р. электронная книга | скачать фрагмент | |
Лабиринт 5/5 | ||
Читай-город 5/5 | ||
МАЙШОП 5/5 | Один из первых книжных интернет-магазинов, работающий с 2002 года | |
Описание
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
О книге
Автор(ы) | Л. А. Сейдман |
Издатель | Техносфера |
Год издания | 2009 |
Серия | Мир материалов и технологий (Техносфера) |
Форматы электронной версии | |
ISBN | 978-5-94836-222-9 |
1 ms.
Книги где автор: Л. А. Сейдман
Технические науки - издательство "Техносфера"
Категория 255 р. - 382 р.
Техническая литература - издательство "Техносфера" »
0 ms.
Технические науки
Категория 255 р. - 382 р.