Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра (Н. В. Макушина) ; МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2006
94 р.
Автор(ы): Наталья Макушина;
Издатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
ISBN: 5-7038-2926-7
ID: SKU417393
Добавлено: 23.08.2021
Цены
Цена от 94 р. до 94 р. в 1 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
ЛитРес 5/5 | 94 р. 118 р. электронная книга | скачать фрагмент | |
Лабиринт 5/5 | ||
Читай-город 5/5 | ||
МАЙШОП 5/5 | Один из первых книжных интернет-магазинов, работающий с 2002 года | |
Описание
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
О книге
Автор(ы) | Н. В. Макушина |
Издатель | МГТУ им. Н.Э. Баумана |
Год издания | 2006 |
Форматы электронной версии | |
ISBN | 978-5-7038-2926-4 |
Технические науки - издательство "МГТУ им. Н.Э. Баумана"
Категория 75 р. - 112 р.
учебники и пособия для вузов - издательство "МГТУ им. Н.Э. Баумана" »
Технические науки
Категория 75 р. - 112 р.