Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2 (Королев Михаил Александрович, Крупкина Татьяна Юрьевна, Путря Михаил Георгиевич, Шевяков Василий Иванович) ; Просвещение/Бином, 2012
Автор(ы): Королев Михаил Александрович; Крупкина Татьяна Юрьевна; Путря Михаил Георгиевич; Шевяков Василий Иванович;
Издатель: Просвещение/Бином
ISBN: 978-5-94774-585-6
ID: SKU153557
Добавлено: 15.08.2021
Цены
Нет в наличии
В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах. Вы можете поискать его на других площадках ниже.
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Лабиринт 5/5 | ||
Читай-город 5/5 | ||
МАЙШОП 5/5 | Один из первых книжных интернет-магазинов, работающий с 2002 года | |
Описание
Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Смотри также Характеристики.
Яндекс.Маркет
О книге
Автор(ы) | Королев Михаил Александрович, Крупкина Татьяна Юрьевна, Путря Михаил Георгиевич, Шевяков Василий Иванович |
Издатель | Просвещение/Бином |
ISBN | 978-5-94774-585-6 |
Год издания | 2012 |
Книги где авторы: Королев Михаил Александрович, Крупкина Татьяна Юрьевна, Путря Михаил Георгиевич, Шевяков Василий Иванович
Похожие товары
Машиностроение. Приборостроение - издательство "Просвещение/Бином" »
Машиностроение. Приборостроение
Категория 386 р. - 579 р.